Questa tesi si concentra sull'integrazione di materiali funzionali (magnetici e piezoelettrici) in dispositivi MEMS strutturali con funzionalità avanzate. Tali dispositivi possono essere utilizzati per diverse applicazioni, tra cui sensori di campo magnetico, dispositivi per il recupero di energia e strumenti per il controllo delle proprietà magnetiche dei materiali. La tesi adotta un approccio fortemente interdisciplinare, coprendo l'intero processo, dalla progettazione e simulazione alla fabbricazione e caratterizzazione di sistemi multifisici. La maggior parte delle attività viene svolta presso PoliFAB, la struttura di micro- e nanofabbricazione del Politecnico di Milano